SPA 25는 저배율에서도 0.1nm까지의 높이 분해능을 제공하는 백색광 간섭계 기술을 사용합니다. 전동 샘플 테이블과 소프트웨어를 사용하면 여러 개의 개별 스캔을 결합하는 이미지 결합이 가능하고, 최대 300 x 300 mm의 넓은 영역을 시각화하고 분석할 수 있습니 다.

Surface profile analysis

업계 최고의 MountainsMap® Imaging Topography 소프트웨어를 활용하여 연구된 표면 분석을 위한 포괄적인 도구 세트를 제공합니다. SPA 25는 넓은 표면적(자동 샘플 테이블이 있는 최대 300mm x 300mm)의 3D 맵을 생성하는 데 사용할 수 있습니다. 재료 처리로 인한 결함 감지나 표면 거칠기를 ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, ISO 16610 등과 같은 다양한 산업 표준에 따라 분석할 수 있습니다.

OCA 시리즈의 광학 접촉각 측정 및 윤곽 분석 시스템과 함께 SPA 25를 사용하면 Wenzel 이론에 따른 표면 보정 접촉각을 계산할 수 있습니다.

DataPhysics Instruments 피코리터 도징 시스템인 PDDS로 개별 피코리터 크기의  Drop 을 주입하여 아주 작은 입자 침전물도 고해상도로 분석할 수 있습니다.

백색광 간섭계

The Surface Profile Analyzer SPA 25 는 표면 지형을 연구하기 위해 백색광 간섭계를 사용합니다. 백색광 간섭계는 광학 측정 기술이며 측정 기기와 테스트 표면 사이의 거리가 상대적으로 멀기 때문에 일종의 스타일러스에 의존하는 프로파일링 시스템에 비해 샘플이 손상될 위험이 없습니다.

SPA 25는 빔 스플리터와 표준 미러를 광 경로 내에 포함하는 Mirau 대물렌즈를 사용합니다. 샘플 표면에서 반사된 빛과 대물렌즈 자체에서 반사된 빛이 간섭 이미지를 생성합니다. 간섭 패턴은 샘플이 정확히 대물렌즈의 초점 평면에 있을 때 가장 큰 차이를 갖고 초점 평면에서 더 가깝거나 멀어질 때 차이가 적어집니다.

샘플과 Mirau 대물렌즈 사이의 거리가 변경되면 간섭 패턴이 그에 따라 변경됩니다. SPA 25는 압전 정밀 스캔 드라이브로 시료 표면과 대물렌즈 사이의 거리를 변경합니다. 다양한 거리를 샘플링하고 변화하는 간섭 패턴을 분석하여 프레임의 모든 지점 높이를 계산할 수 있습니다.

최신 그래픽 카드가 제공하는 병렬 연산 능력의 증가는 고도로 정교한 평가 알고리즘을 가능하게 합니다. 따라서 SPA 25는 각 스캔에서 최대 500GB의 이미지 데이터를 처리할 수 있으며 EPSI(Extended Phase Shift Interferometry) 스캔 모드를 사용하여 최저 0.1nm  까지의 높이 해상도를 제공합니다.

초점 변화 또는 공초점 현미경과 같은 다른 광학 높이 측정 방법과 비교하여 백색광 간섭계의 중요한 이점은 높이(Z축 방향) 분해능이 사용된 대물렌즈의 배율 계수와 상관없이 측정 가능합니다. 확대 계수는 측면(X-Y 축방향) 해상도만 변경합니다.

SPA 25

SPA 25는 저배율에서도 0.1nm까지의 높이 분해능을 특징으로 하는 백색광 간섭계 기술을 활용합니다. 수동 또는 전자동 샘플 테이블과 함께 사용할 수 있습니다. 전동식 샘플 테이블과 소프트웨어를 사용하면 여러개의 개별 스캔을 결합하는 이미지 결합이 가능하므로 최대 300mm x 300mm의 더 넓은 영역을 시각화하고 분석할 수 있습니다.

주요 특징

• 백광 간섭계 측정 기술
• 게이지 제어 기능이 있는 정밀 압전 스캔 드라이브
• 최대 400μm 스캔 범위(z축 방향) 및 최대 해상도에서 11.3μm/s 스캔 속도
• 최대 1920 x 1200 픽셀의 USB 3 고속 카메라와,  최대 3000fps/sec 속도
• 두 가지 스캔 모드: 
  • 1nm 높이 분해능의 VSI(수직 스캔 간섭계) 
  • 0.1nm 높이 분해능의 EPSI(확장 위상 편이 간섭계)
• 배율이 다른 Mirau 간섭계 현미경 대물렌즈 
• 수동 또는 자동 샘플 테이블
• 고사양의 PC가 통합된 제어 장치:
  • Intel® Core™ I5
  • 16 GB RAM
  • 500 GB SSD
  • NVIDIA® graphics card
  • Microsoft® Windows™ 10 Pro

소프트웨어

SPA 25는 SPS 25 Surface Profile Software 를 통해 제어됩니다. 업계 최고의 MountainsMap® Imaging Topography 평가 소프트웨어를 사용하여 surface profile 을 분석합니다.

액세서리

SPA 25는 다양한 Mirau 현미경 대물렌즈뿐만 아니라 다양한 자동 또는 수동 샘플 테이블과 결합할 수 있습니다.